高新制造业静电与微污染控制 简介
本书着眼于高新制造业中的环境质量基础工程问题,提出了污染控制与静电放电控制的要求与方法。通过标准和案例分析,重点阐述了污染控制与静电放电控制的内在联系,以及工作区设计、材料选择、工具使用、过程检测、清洁维护、包装运输、管理措施、审核认证等方面的具体要求和方法。并列题名: Contamination and ESD control in high-technology manufacturing eng
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